1、必须维持一定的正压。不同等级的洁净室施工以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于4.9Pa,洁净区与室外的静压差,应不小于9.8Pa。
2、维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:
Q=q1·Σ(q·L)
式中:Q--维持正压值所需的正压风量(米3/时);
a--根据围扩结构气密性确定的安全系数,可取1.1~1.2;
q--当洁净车间为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/时·米);
L--围扩结构的缝隙长度(米)。
3、围护结构单位长度缝隙的渗漏风量,可按下表采用:
4、送风、回风和排风系统的启闭联锁。系统开启时,联轴和序应为先启动送风机,再启动回风机和排风机,系统关闭时,则闻锁程序应相反。
5、非连续运行的洁净车间,可根据生产工艺要求设置值班风机,并应对新风进行处理。
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